晶圆载体（晶圆花篮）

晶圆载体（晶圆花篮）

晶圆载具旨在可控环境下安全可靠地固定硅晶圆。

在 Dalau，我们开发了一种独特的产品设计方法, 能够设计出的特殊加工载具既适合新晶圆也适合现有晶圆产品，同时仍然可使用现有的加工设备。

它还允许在最大限度地提高化学饱和度并冲洗硅晶片或基板的同时，允许选择您希望加工处理的容量。

定制设计的晶圆载具

定制设计的光罩载具

定制设计的特殊加工载具

加强版晶圆载具

我们设计并制造加强版晶圆载具。特殊嵌入材料会比标准碳嵌入更适合晶圆载具在更高温度范围内进行作业。

我们还拥有 CAD（计算机辅助设计）和先进的计算机数控加工能力，可用于生产符合精确规格的特殊定制、高尺寸和低剖面晶圆、光罩和基板载具。 载具由单件结构材料一气呵成，没有通过螺钉或销钉固定在一起，有 PTFE、PTFM、PCTFE 和防静电化合物等不同材质选择。